溫度范圍零下180~550℃
變溫速度0~10℃/min,升降溫線性可控
溫度分辨率及穩(wěn)定性± 0.1℃
控溫方式PID
溫度傳感器PT100
溫度傳感器數(shù)量2
致冷方式液氮(泵控制)
探針數(shù)量4(可增加)
探針材質(zhì)紫銅鍍金
測(cè)試通道4
載樣臺(tái)材質(zhì)及尺寸銀質(zhì),35*35mm(以實(shí)際尺寸為準(zhǔn))
冷熱臺(tái)尺寸160*150*29mm(以實(shí)際尺寸為準(zhǔn))
實(shí)驗(yàn)環(huán)境可抽真空,可充入保護(hù)氣氛(氮?dú)猓渌浣涌?/span>
探針臺(tái)(Probing Station)是一種用于半導(dǎo)體測(cè)試和測(cè)量的設(shè)備,主要用于對(duì)集成電路(IC)進(jìn)行電氣測(cè)試。它允許工程師在開(kāi)發(fā)和生產(chǎn)過(guò)程中評(píng)估電路的性能,確定是否滿足設(shè)計(jì)規(guī)格。探針臺(tái)通常配備高度的探針,可以在微小的封裝上進(jìn)行接觸,以測(cè)量電流、電壓和其他電氣特性。
探針臺(tái)的主要特點(diǎn)包括:
1. **高精度定位**:能夠定位到納米級(jí)別,以確保探針能準(zhǔn)確接觸到芯片上的測(cè)試點(diǎn)。
2. **可調(diào)操作溫度**:有些探針臺(tái)設(shè)計(jì)可以在不同的溫度條件下進(jìn)行測(cè)試,以模擬不同的工作環(huán)境。
3. **自動(dòng)化與手動(dòng)操作**:現(xiàn)代探針臺(tái)通常集成了自動(dòng)化系統(tǒng),能夠提高測(cè)試效率,減少人為錯(cuò)誤。
4. **多探針設(shè)計(jì)**:可以同時(shí)使用多個(gè)探針進(jìn)行測(cè)試,從而加快測(cè)試速度并提高測(cè)試覆蓋率。
探針臺(tái)廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)的研發(fā)、生產(chǎn)測(cè)試以及質(zhì)量控制等環(huán)節(jié)。
高低溫真空探針臺(tái)是一種用于材料和半導(dǎo)體器件測(cè)試的設(shè)備,能夠在極端溫度和真空環(huán)境下進(jìn)行電氣特性測(cè)量。其主要功能包括:
1. **溫度控制**:能夠在廣泛的溫度范圍內(nèi)(通常從低于零度到幾百度攝氏)控制樣品的溫度,便于研究材料在不同溫度下的性能變化。
2. **真空環(huán)境**:提供低壓真空環(huán)境,以減少氣體分子對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響,尤其是在材料表面或界面反應(yīng)的研究中。
3. **電氣測(cè)試**:可以連接測(cè)試儀器(如示波器、源測(cè)量單元等)進(jìn)行電流、電壓等電學(xué)特性的測(cè)量。
4. **多種探針配置**:可以靈活配置探針的數(shù)量和類型,以適應(yīng)不同的實(shí)驗(yàn)需求,如單點(diǎn)探測(cè)或多點(diǎn)測(cè)量。
5. **樣品放置**:支持多種類型的樣品放置方式,如晶圓、薄膜、納米結(jié)構(gòu)等,以開(kāi)展多樣化的實(shí)驗(yàn)。
6. **數(shù)據(jù)采集與分析**:配合相關(guān)軟件,可以進(jìn)行實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)采集和后續(xù)分析,幫助科研人員深入理解材料性能。
高低溫真空探針臺(tái)廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、物理、材料科學(xué)等領(lǐng)域的研究和開(kāi)發(fā)中,尤其是在新材料的開(kāi)發(fā)和半導(dǎo)體器件的性能測(cè)試方面具有重要意義。

光學(xué)探針臺(tái)是一種用于微觀尺度上測(cè)量和分析樣品的儀器,主要應(yīng)用于材料科學(xué)、半導(dǎo)體研究、納米技術(shù)和生物醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域。其主要功能包括:
1. **高精度定位**:光學(xué)探針臺(tái)配備高精度的運(yùn)動(dòng)系統(tǒng),可以將探針或光學(xué)裝置在樣品表面上進(jìn)行微米級(jí)甚至納米級(jí)的定位,以實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)確的測(cè)量和操作。
2. **光學(xué)成像**:利用高分辨率的成像系統(tǒng),可以對(duì)樣品進(jìn)行實(shí)時(shí)觀察,提供樣品表面的詳細(xì)信息,幫助研究人員分析結(jié)構(gòu)和特性。
3. **探針測(cè)量**:光學(xué)探針臺(tái)通常配有不同類型的探針,可以進(jìn)行電學(xué)、熱學(xué)、力學(xué)等性質(zhì)的測(cè)量,例如掃描探針顯微鏡(SPM)和原子力顯微鏡(AFM)等。
4. **環(huán)境控制**:許多光學(xué)探針臺(tái)可以在控制的環(huán)境條件下進(jìn)行實(shí)驗(yàn)(如溫度、濕度、氣氛等),以觀察樣品在不同條件下的表現(xiàn)。
5. **數(shù)據(jù)采集和分析**:通過(guò)集成的軟件系統(tǒng),光學(xué)探針臺(tái)可以實(shí)時(shí)采集數(shù)據(jù)并進(jìn)行分析,為研究人員提供有價(jià)值的信息。
6. **樣品操作**:某些光學(xué)探針臺(tái)還具備對(duì)樣品進(jìn)行處理和操作的能力,如刻蝕、沉積等,為材料制備提供。
7. **多功能集成**:現(xiàn)代光學(xué)探針臺(tái)還可以與其他技術(shù)結(jié)合,如激光光譜、電子顯微鏡等,以實(shí)現(xiàn)更全面的分析與表征。
光學(xué)探針臺(tái)因其和多功能性,成為研究和開(kāi)發(fā)中的重要工具。

同軸真空饋通件是一種用于電子設(shè)備的連接器,主要用于在真空環(huán)境中傳輸信號(hào)。其特點(diǎn)包括:
1. **優(yōu)良的信號(hào)傳輸性能**:同軸結(jié)構(gòu)能夠有效地減少信號(hào)的損耗和反射,保證信號(hào)的質(zhì)量。
2. **良好的屏蔽性能**:同軸設(shè)計(jì)可提供較好的電磁干擾屏蔽,防止外部干擾信號(hào)影響傳輸質(zhì)量。
3. **耐高真空特性**:專門設(shè)計(jì)用于在真空環(huán)境中工作,不易受到氣體和水分的影響,適用于真空設(shè)備,如粒子加速器和真空腔等。
4. **高功率承受能力**:能夠承受較高的功率水平,適合用于高功率射頻應(yīng)用。
5. **機(jī)械穩(wěn)定性**:結(jié)構(gòu)堅(jiān)固,能夠經(jīng)受一定的機(jī)械應(yīng)力和溫度變化。
6. **便于安裝和維護(hù)**:設(shè)計(jì)通常考慮到易于安裝和維護(hù),便于與其他設(shè)備連接。
7. **多種接口類型**:可根據(jù)需要提供不同類型的連接器接口,以適應(yīng)應(yīng)用場(chǎng)景。
以上這些特點(diǎn)使得同軸真空饋通件在通信、射頻設(shè)備及實(shí)驗(yàn)物理等領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用前景。

探針座位移平臺(tái)是一種用于精密測(cè)試和測(cè)量的設(shè)備,常用于半導(dǎo)體、光電子和精密制造等領(lǐng)域。其主要特點(diǎn)包括:
1. **高精度**:探針座位移平臺(tái)能夠在微米甚至納米級(jí)別進(jìn)行高精度的位置控制,以確保測(cè)量的準(zhǔn)確性。
2. **多軸運(yùn)動(dòng)**:許多探針座位移平臺(tái)設(shè)計(jì)為多軸系統(tǒng),能夠?qū)崿F(xiàn)X、Y、Z三個(gè)維度的立移動(dòng),以適應(yīng)復(fù)雜的測(cè)量需求。
3. **穩(wěn)定性**:平臺(tái)結(jié)構(gòu)通常經(jīng)過(guò)優(yōu)化設(shè)計(jì),以提供高度的機(jī)械穩(wěn)定性,減少外部震動(dòng)對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響。
4. **自動(dòng)化控制**:現(xiàn)代探針座位移平臺(tái)通常配備計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng),支持自動(dòng)化操作和數(shù)據(jù)采集,提高工作效率。
5. **兼容性強(qiáng)**:探針座可以與多種探針、傳感器和測(cè)量設(shè)備相結(jié)合,提供靈活的應(yīng)用方案。
6. **快速響應(yīng)**:的驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)使得平臺(tái)能夠快速響應(yīng)控制指令,實(shí)現(xiàn)快速定位和測(cè)量。
7. **易于操作**:許多平臺(tái)設(shè)有用戶友好的界面,使操作人員能夠輕松進(jìn)行設(shè)置和調(diào)整。
8. **可調(diào)節(jié)性**:探針座位移平臺(tái)通常允許用戶根據(jù)特定需求來(lái)調(diào)整工作參數(shù),例如探針的接觸力、移動(dòng)速度等。
這些特點(diǎn)使得探針座位移平臺(tái)在電子元器件測(cè)試、材料分析和微型裝配等領(lǐng)域得到了廣泛應(yīng)用。
真空探針臺(tái)是一種用于半導(dǎo)體、微電子和納米技術(shù)等領(lǐng)域的高精度測(cè)試設(shè)備,適用于以下幾個(gè)方面:
1. **半導(dǎo)體測(cè)試**:用于對(duì)集成電路(IC)、功率器件、傳感器等半導(dǎo)體器件進(jìn)行電性能測(cè)試,包括IV曲線測(cè)量、CV特性測(cè)試等。
2. **材料科學(xué)**:用于研究和測(cè)試薄膜材料、納米材料等在不同環(huán)境下的電學(xué)特性。
3. **微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)**:對(duì)MEMS器件進(jìn)行電氣測(cè)試和性能評(píng)估,尤其是在真空環(huán)境下進(jìn)行的測(cè)試。
4. **封裝測(cè)試**:用于對(duì)芯片封裝后進(jìn)行的性能測(cè)試,確保封裝過(guò)程影響芯片性能。
5. **研發(fā)和實(shí)驗(yàn)室應(yīng)用**:研究機(jī)構(gòu)和高校可以利用真空探針臺(tái)進(jìn)行實(shí)驗(yàn)室研究,進(jìn)行新材料和器件的開(kāi)發(fā)。
6. **測(cè)試**:一些應(yīng)用中,真空環(huán)境可以減少信號(hào)衰減和噪聲,適合微波器件和電路的測(cè)試。
真空探針臺(tái)能夠提供穩(wěn)定的測(cè)試環(huán)境和高精度的測(cè)量,有助于研究人員和工程師獲取準(zhǔn)確的數(shù)據(jù)和結(jié)果。
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